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SVAC-FilmLab-B 箱式镀膜设备
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SVAC-FilmLab-B 箱式镀膜设备

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真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:1400 x 900 x 2000mm。
可集成电子束、热蒸发、磁控溅射等多个沉积模块。
PLC/触摸屏控制。
真空腔室尺寸:Φ400-500MM。

极限真空:小于5×10-5Pa。

保压数据V2

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真空度数据:

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性能模块:

1、磁控溅射模块:

图片2.png图片1.png

图片4.png图片3.png

图片5.png


2、电子束:

电子束蒸发均匀性

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注:在4寸/6寸范围内取9个点,均匀性值=(Tmax-Tmin)/2(Tmax+Tmin)


蒸发曲线

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3、加热样品台:

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4、热蒸发

热蒸发模块性能测试曲线

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注1:Al采用AlN坩埚外缠绕钨丝蒸发。

注2:Ni、Ti采用钼棒缠绕Ni、Ti丝蒸发


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注:在4寸/6寸范围内取9个点,均匀性值=(Tmax-Tmin)/2(Tmax+Tmin)


5、有机物蒸发:

有机物束源炉性能测试曲线

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测试条件:Red Prime材料,密度1.0g/cm3


21.png


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